光干涉透射法檢測元件厚度差的原理：
在激光干涉儀進行透射測量時，激光光源發(fā)出的單色光,垂直向下經(jīng)過被檢元件上、下兩表面被標準反射鏡反射后會形成干涉條紋，每個點上所生的干涉條紋取決于該點上兩相干的光的光程差。當光程差為nλ+0.5λ時，顯示為暗條紋；當光程差為nλ+λ時，顯示為亮條紋；
所以，當被檢元件的兩個面不完全平行，存在楔角時，沿楔角方向，元件的厚度逐漸增大，相應的光程差也逐漸變大，沿楔角方向就會產(chǎn)生間隔分布亮暗條紋。楔角越大，條紋越密集。
檢測指標的簡單說明：
PV值在數(shù)學上的定義是峰谷值( Peak to Valley),即最大值和最小值的差值。單位是λ(波長)。對應到干涉儀透射檢測上，就是被檢元件的厚度差。
RMS值在數(shù)學上的定義是均方根值(root-mean-square)，單位是λ(波長),這是一個統(tǒng)計值，RMS的大小反映了這些數(shù)據(jù)值的離散程度。對應到干涉儀透射檢測上，RMS值越小表明被檢元件的厚度平滑性越好，高低起伏越少。
TTV值條紋根數(shù)是肉眼可見的被檢元件厚度差的直觀表現(xiàn)，與PV值成線性關系。條紋根數(shù)越少表明被檢元件的厚度差越小。
POWER值是測量物體上的最亮或最暗值。
測量畫孔最大范圍16.8MM.
儀器參數(shù)：
序號 | 名稱 | GBM08A |
1 | 測量原理 | 菲索干涉原理 |
2 | 激光器 | 半導體激光器 635nm 940nm |
3 | 有效孔徑 | 16.5mm （允許同時管控8個孔） |
4 | 標準鏡面形精度 | 0.05λ |
5 | 面形值重復精度 | PV 0.06λ(標準片) |
6 | 面形值量程 | PV 0～3λ |
7 | 測試時間 | PV測試：1秒；條紋數(shù)測試：1秒內(nèi) |
8 | 夾具 | 有 |
9 | 軟件 | PVmeter |
10 | 電源 | 220V 60W |
11 | 通訊接口 | USB |
12 | 重量 | 15Kg |
13 | 自動化接口 | 預留 |
